电子行业：华金证券-电子行业周报：如何把握先进制程下光刻机投资机遇？-250720

- AI发展推动先进制程（7nm及以下）的光刻机需求持续增长，预计2024年至2028年产能将以14%的复合年增长率扩张。

- 短期内，多重曝光技术在核心设备限制下助力制程突破，但成本和精度控制挑战依然存在。

- 投资建议关注光刻机产业链中的关键环节及相关厂商，尤其是在美国制裁背景下，光刻机技术对国内半导体行业的重要性日益凸显。

投资报告核心要点如下： 1. **市场需求**：随着AI应用的激增，全球半导体制造行业预计将持续强劲增长，特别是7nm及以下的先进工艺产能将显著扩张。

2. **光刻机需求**：AI发展推动对ArFi和EUV光刻机的需求加剧。

预计先进工艺产能将从2024年的每月85万片晶圆增长到2028年的140万片晶圆。

3. **技术进展**：短期内，多重曝光技术帮助突破制程限制，但193nm浸没式光刻在更先进工艺节点上的应用面临挑战。

台积电的N7和N7P工艺依赖DUV光刻机，而N7+则开始采用EUV光刻机。

4. **长期展望**：高端光刻机是先进制程大规模量产的基础，光源波长、数值孔径和工艺系数等因素决定了光刻机的分辨率。

5. **投资建议**：关注光刻机产业链中的关键环节，特别是技术积累较深的企业，包括光源、光学器件、物镜、计算模块及洁净设备等。

6. **风险提示**：需注意技术研发进度、下游需求、宏观经济波动、地缘政治及国际贸易摩擦等风险因素。

投资标的及推荐理由： 1. 光源相关企业： - 福晶科技 - 波长光电 推荐理由：光源是光刻机的核心组件，影响分辨率和成像质量，技术积累较深。

2. 光学器件制造商： - 茂莱光学 - 腾景科技 - 炬光科技 - 晶方科技 推荐理由：光学器件对光刻机性能至关重要，市场需求持续增长。

3. 物镜生产企业： - 赛微电子 - 福光股份 - 永新光学 推荐理由：物镜是影响光刻分辨率的关键因素，技术壁垒高。

4. 计算/控制模块供应商： - 电科数字 推荐理由：计算和控制模块在光刻过程中起到优化和精确控制的作用，需求稳定。

5. 洁净设备制造商： - 美埃科技 - 蓝英装备 推荐理由：洁净设备是半导体生产环境的重要保障，随着产能扩张需求上升。

6. 温控设备供应商： - 同飞股份 - 海立股份 推荐理由：温控系统对光刻机的稳定性和精确性至关重要，市场需求持续。

7. 零部件/结构件制造商： - 新莱应材 - 富创精密 - 珂玛科技 推荐理由：零部件和结构件是光刻机的基础构成，技术积累深厚。

8. 其他相关企业： - 芯碁微装（直写光刻） - 旭光电子（大功率电子管） - 东方嘉盛（服务） - 京华激光（光学制版用光刻机） - 华卓精科（工件台，未上市） 推荐理由：这些企业在光刻机的不同环节中发挥着重要作用，未来发展潜力大。

9. 整机制造商： - 上海微电子（未上市） - 奥普光电 推荐理由：整机制造商是光刻机产业链的核心，受益于行业的持续扩张。

风险提示：技术研发进度不及预期、下游需求不及预期、宏观经济和行业波动、地缘政治和国际贸易摩擦等风险。